鐵電隨機存儲器測試儀
FeRAM (Ferroelectric Random Access Memory) Cell Ter
內(nèi)存窗口信息是基于對器件完全集成后進(jìn)行模擬電滯回線測量后得出的。
應(yīng)用領(lǐng)域：
鐵電存儲器的生產(chǎn)
生產(chǎn)過程中的質(zhì)量控制，以便不會影響到CMOS生產(chǎn)過程
在MHz的操作速度下，單級電滯回線數(shù)據(jù)
優(yōu)點：
生產(chǎn)過程的工藝優(yōu)化
在MHz范圍的時間影響測試
適用于2T-2C 設(shè)計和1T-1C設(shè)計
從模擬測試數(shù)據(jù)得出內(nèi)存窗口信息
客戶可定制測試環(huán)境
升級服務(wù)
客戶支持
程序功能：
可以在單一器件上進(jìn)行電滯回線、PUND脈沖測試等測試過程。
上升時間zui低可實現(xiàn)1μm，自定義的測試脈沖可以用于測試不同類型的失效機制。預(yù)極化脈沖參數(shù)可以在測試序列里單獨設(shè)置。
可以使用Access Time程序進(jìn)行相同脈沖強度下不同幅值相同脈沖寬度或相同脈沖幅值不同脈沖寬度的測試。
特點：
FeRAM測試儀是用來記錄quan面的測試單元電滯回線的，測試儀生成所需要的時間。
如果芯片的布局發(fā)生變化，可以自動獲取材料特性較大的陣列。這種情況下，測試儀是用一個開關(guān)盒和一個探針臺工作的。軟件可以自動調(diào)整設(shè)置的參數(shù)。
參數(shù)的統(tǒng)計評價是通過aixPlorer完成的。
FeRAM測試儀zui大的優(yōu)點就是可以使重要信息流程化，從而提高產(chǎn)量，降低了成本，從而減少了產(chǎn)品上市的時間。相關(guān)的數(shù)字結(jié)果和模擬實驗提供了重要信息。
FeRAM測試儀擁有高分辨測量和速度到微秒的測量功能。
